等离子体刻蚀与化学气相沉积设备采购项目（重招）评标结果公示公告(1)
公告类型：公开招标采购编号：1175-21466GJ0226Z 发布时间：2021-07-16
项目名称：等离子体刻蚀与化学气相沉积设备采购项目（重招）
招标项目编号：1175-21466GJ0226Z
招标范围：序号：1；产品名称：铌酸锂感应耦合等离子体刻蚀设备；数量：1台；简要技术规格：详见第八章 货物需求一览表及技术规格；备注：主要用于体材料、薄膜材料铌酸锂以及金属（如Cr）的刻蚀； 序号：2；产品名称：三五族(III-V)化合物半导体感应耦合等离子体刻蚀设备；数量：1台；简要技术规格：详见第八章 货物需求一览表及技术规格；备注：主要用于III-V族化合物半导体材料（如GaAs系、InP系）的刻蚀；
序号：3；产品名称：电介质反应离子刻蚀设备；数量：1台；简要技术规格：详见第八章 货物需求一览表及技术规格；备注：主要用于电介质材料（如SiO2、SiNx）的刻蚀；
序号：4；产品名称：电感耦合等离子体化学气相沉积设备；数量：1台；简要技术规格：详见第八章 货物需求一览表及技术规格；备注：主要用于高质量电介质薄膜（如SiNx、SiO2）的沉积
招标机构：广州市国科招标代理有限公司
招标人：中国科学院空天信息研究院粤港澳大湾区研究院
开标时间：2021-07-08
14:30
公示开始时间：2021-07-16
18:12
评标公示截止时间：2021-07-21
23:59
中标候选人名单：
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候选人排名 |
投标商名称
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制造商 |
制造商国别及地区 |
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1 |
SEMI？TECHNOLOGY？LIMITED |
Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited trading as Oxford Instruments Plasma Technology |
英国 |
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