广东省科学院半导体研究所电子束曝光系统市场调研公告
公告类型：其他采购编号： 发布时间：2023-10-25
广州市国科招标代理有限公司（以下简称“采购代理机构”）受广东省科学院半导体研究所（以下简称“采购人”）委托，现对“广东省科学院半导体研究所电子束曝光系统”组织进行需求调研。为了解市场各供应商的服务情况，以及使服务和商务要求体现公平、公正的原则，现邀请有能力提供合格服务的各单位参与本项目的需求调研活动，相关事宜通知如下：
一、项目概况
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1、调研内容： |
电子束曝光系统 |
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2、调研标的内容清单及主要服务要求： |
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功能要求： 面向微波毫米波射频器件、高端精密掩膜、AR/VR超表面镜头、神经探针等多种产业前沿核心芯片、部件的研发和制备，完善微纳结构制样及分析检测功能，实现≤50nm级微纳结构材料与器件的精细制样，服务我省前沿新材料、半导体与集成电路等多个产业集群高质量发展。 电子束曝光系统设备主要功能指标包括：电子束曝光适用于6英寸、兼容4，2英寸以及碎片；最大加速电压≥50kV；扫描频率≥50MHz；电子束流≥10nA；束流稳定性优于±0.5%/hr；最小线宽≤50nm；套刻精度≤50nm；拼接精度≤50nm；最大写场≥500um等。可用于实现微纳透镜阵列、精细斜线、精细光栅、精细螺旋线、六角阵列、圆点阵等多种纳米图形的生成及制样。 配置要求： 大面积高精度电子束曝光系统主机 *1套、无拼接长尺寸图形加工功能 *1套、无拼接周期图形加工功能 *1套、旋转倾斜模块*1套、自动高度传感器 *1套、20bit升级 *1套、自动化多样品加工软件包 *1套、基于算法的模式生成软件功能*1套、适用于多样品的样品架*1套、3寸晶圆样品架 *1套、4寸晶圆样品架 *1套、6寸晶圆样品架 *1套、8寸晶圆样品架 *1套、曝光软件离线授权*2套、不间断稳压电源 *1套 |
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二、调研方式
有意向参与的单位可以向采购代理机构提供参数指标、设计方案、相关产业发展情况、市场供给情况、同类服务项目历史成交信息及其他需求相关情况意见或建议（须参考附件一：政府采购项目采购需求格式），请在本公告发出之日起的5个工作日内，以邮件或邮寄形式（材料加盖公章，并提供加盖公章的营业执照、注明联系人、联系电话）发送至采购代理机构邮箱：gzgk@gzgkbidding.com，采用邮寄形式递交的单位请邮寄至：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼 钟先生020-38364802。采购人将根据调研意见情况，结合自身采购需求，形成采购文件。
三、需求调研截止日期、时间及公布媒体
1、递交截止日期和时间：2023年11月2日 17:30（北京时间，以采购代理机构收到时间为准）。
2、本公告信息在广州市国科招标代理有限公司网（www.gzgkbidding.com）上公布。
四、单位联系方式
采购代理机构：广州市国科招标代理有限公司
项目联系人：钟先生、苏先生
联系电话：020-38364802、020-87687651
传真号码：020-87685201
电子邮箱：gzgk@gzgkbidding.com
联系地址：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼
邮政编码：510070
网址：www.gzgkbidding.com
附件一：政府采购项目采购需求格式
广州市国科招标代理有限公司
2023年10月25日
附件下载: 附件一：政府采购项目采购需求调查
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